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カルレッツ®の物理的特性 半導体製造プロセスにおけるカルレッツ®選択ガイド カルレッツ®の放出ガス特性 カルレッツ®特注品・製作可能な仕様
カルレッツ®のガス透過特性 カルレッツ®の耐プラズマ特性 カルレッツ®抽出物特性 浸漬テストの状況例
カルレッツ®の耐薬品特性 291
■耐薬試験によるフッ素ゴムとの比較
■カルレッツと従来のふっ素ゴムの耐溶剤性
ふっ素ゴム カルレッツ®
ヘキサン 1 <1
シクロヘキサン 4 <1
ベンゼン 22 3
トルエン 8 <1
酢酸エチル 280 3
四塩化炭素 1 4
パークロロエチレン 1 2
クロロベンゼン 8 <1
アセトン 200 2
メチルエチルケトン 240 <1
テトラヒドロフラン 200 <1
エタノール 6 0
ニトロベンゼン 24 <1
カルレッツは他のゴムでは使えない次のような薬品に対してすぐれた性能を示します。
●アクリロニトリル
●ブチルアルデビト
●DNT
●エーテル類
●メチレンクロライド
●スチレン
●アミン酸
●セロソルブ
●ジオキサン
●酸化エチレン
●窒素化合物
●THF

●アニリン酸*
●DMF
●エピクロルヒドリン
●フラフラール
●シンナー類
●塩化ビニール
●ブタジェン類
●DMT
●エステル類
●ケント類
●酸化プロピレン
*耐アミン特性は、材質の種類によって大きな差がありますので、ご注意下さい。
カルレッツの放出ガス特性
カルレッツは高温シール部に多く使われています。シール材の熱安定性を見る方法として、TAG法、TEA法がありますがTGA法によるとカルレッツの熱分解ピーク最大点は、490℃±15℃であり、400℃での分解、ガス化量は1.5以下となっています。
また、TEA法によれば熱分解のはじまるのは315℃以上の高温であると判断できます。このようにカルレッツ®は、他のいかなるエラストマーよりも熱に対して安定しています。そのため、ガス発生量も他のエラストマーと比較すると少なくなっています。
図は、カルレッツ®のガス発生率を、ふっ素ゴム、ステンレス(ブランク)、と比較したものです。各サンプルは、テスト前に4時間のベーキング処理を行っています。このテストによると、カルレッツ®は、ふっ素ゴムと比べて非常に低いガス発生率となっています。また、30℃以下では、ステンレスとかなり近い値となっていることがわかります。
カルレッツのガス透過特性
超高真空用シール材を選定する際、ガスの透過性は選定の判断材料の重要なポイントとなります。ガス透過性は、ある一定温度、圧力のもとで、ガスがエラストマーを通過する量をもとに決められます。ガスの透過はさまざまなファクターに存在する複雑な現象です。
ファクターとは例えば
●エラストマーの化学的構造
●ガスの特徴
●ガスとエラストマーの構造が似ているか似ていないか
●温度
●圧力
■表はカルレッツ及び他のエラストマー、ふっ素樹脂のガスの透過率です。
カルレッツは真空用シール材として比較的良好なガス透過性を示しています。

材質 窒素 酸素 ヘリウム アルゴン 二酸化炭素
カルレッツ®4079 0.30 1.00 11.20 0.68 2.53
カルレッツ®2037 0.42 1.71 14.50 0.76 3.53
フッ素ゴム*A 0.09 0.23 3.05 - -
フッ素ゴム*GF 0.21 0.42 4.39 - -
EPDM 0.83 2.11 3.36 - -
シリコンゴム 28.0 60.0 34.0 68.0 323.0
フッ素樹脂*PFA 0.17 0.53 - - 1.36
*単位:10-9cm3・cm/sec・cm2・cmHg

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