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エラストマーとは カルレッツ®とは カルレッツ®の特徴 カルレッツ®耐スチーム特性
カルレッツ®の耐熱特性 カルレッツ®の耐薬品特性 カルレッツ®のラインアップ カルレッツ®カスタムパーツの使用例
カルレッツ®の物理的特性 半導体製造プロセスにおけるカルレッツ®選択ガイド カルレッツ®の放出ガス特性 カルレッツ®特注品・製作可能な仕様
カルレッツ®のガス透過特性 カルレッツ®の耐プラズマ特性 カルレッツ®抽出物特性 浸漬テストの状況例

エラストマーとは 291
エラストマーとは、伸び率が100%以上の弾性体で外力を与えると容易に変化しますが、除くとただちに原形にほぼ回復するような弾性の顕著な高分子物質です。
一般的なエラストマーと、同じく高分子に分類されるプラスチックの化学構造模式図を示しました。エラストマーとプラスチックはともに、炭素ー炭素結合を繰り返しの最小単位とする長い高分子鎖(主鎖)で構成されています。
プラスチックがお互いの高分子鎖同士の結合を持たないのに対して、エラストマーは架橋部によって高分子鎖どうしが化学結合で結ばれており、この架橋部と高分子鎖についている枝分かれ部によって、エラストマー性(弾性)という特性を示しています。また、この架橋構造をもつことで、熱、圧力に対して安定となります。
■エラストマーの構造模式図
■プラスチックの構造模式図
カルレッツとは
カルレッツは、パーフロロエラストマーと分類される高分子材料です。カルレッツと、同じくフッ素系高分子に属するフッ素系樹脂(プラスチック)であるフッ素樹脂(PTFE:ポリテトラフルオロエチレン)、フッ素ゴム(エラストマー)の化学構造式を示しました。フッ素樹脂、フッ素ゴムともに、優れた耐熱、耐薬品特性をもつことで知られています。
カルレッツ®の構造は、エラストマーの特徴である主鎖部:TFE(テトラフルオロエチレン)、枝分かれ部:PMVE(パーフロロメチルビニルエーテル)、および架橋部から成り、完全にふっ素化されており、フッ素樹脂と極めて似た構造をしています。一方、ふっ素ゴムは、主鎖部の一部に、炭素ー水素結合が存在しており、この結合は、炭素ーふっ素結合より弱いために、カルレッツ®と比較して熱的、化学的特性が低くなります。
カルレッツの特徴
カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が開発した新しいエラストマー材料です。この、エラストマー材料は、フッ素樹脂ふっ素樹脂のもつ優れた耐薬品性、従来のふっ素ゴムを上回る耐熱性を有し、さらにゴムの持つ弾力性を兼ね備えた画期的な製品で、世界でデュポン ダウエラストマー社だけが製造・販売しています。
その耐薬品性は、従来のふっ素ゴムでは使用が難しかったエーテル類、アミン類、ケント類、酸化剤、有機溶剤、燃料、酸、アルカリなど、ほとんどの薬品に対して安定性を示し、耐熱性(JIS K6301などの圧縮永久ひずみ試験の結果に基ずく)においては、300℃近くの高温においてもゴムとしての物性を比較的に保ちます。このため、例えばカルレッツ®部品を半導体製造装置用シール材に用いた場合では、

●シールの長寿命化
●半導体製品の歩留り向上
●メンテナンスコストの減少
●より低いコンタミネーション
    等が期待できます。
■優れた耐熱性・優れた耐薬品性

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