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カルレッツ®の物理的特性 半導体製造プロセスにおけるカルレッツ®選択ガイド カルレッツ®の放出ガス特性 カルレッツ®特注品・製作可能な仕様
カルレッツ®のガス透過特性 カルレッツ®の耐プラズマ特性 カルレッツ®抽出物特性 浸漬テストの状況例
カルレッツの耐熱特性 291
■圧縮永久ひずみと耐熱特性
圧縮永久ひずみ測定は、JIS K6301によって規定されており、図に示す様な測定用冶具を使用してゴム試験片を圧縮して、その状態で所定温度、時間で高温放置を行い、その後直ちに冶具より試験片を取り出し、次式により圧縮永久ひずみを測定します。
ゴムが熱により劣化し、弾性が失われるとひずみの値が大きくなります。
ふっ素ゴムは、200℃前後の温度から急激にひずみの値が大きくなるのに対し、カルレッツ4079は300℃でもひずみ率が50%程度です。
また、200℃での長時間圧縮ひずみを測定した例では、カルレッツ®4079は長時間ひずみ率50%以下を保持しています。

■温度に対する圧縮永久ひずみの状況(70時間)*
Material Tested 204℃ 250℃ 300℃
Kalrez®8475 23 30 45
kalrez®4079 37 41 45
ふっ素ゴム 43 100 Sample Failed
*ASTM D 395B&1414(214O-rings)

カルレッツ8475と他社製白色パーフロロエラストマーの耐熱性を比較するために、同じ条件で熱処理を行った結果です。
カルレッツは高温処理においても変化を起こしませんでした。
■カルレッツ®の耐熱グレードの耐熱特性は次のとおりです。
材質 耐熱温度(℃) 圧縮永久歪み(%)
204℃、70時間
4079 316 25
1050LF 288 35
8475 300 23*
8002 250 15*
8575 300 29
*AS568A、2140リングのテストによるデータ
カルレッツの以外のエラストマーでは、ふっ素ゴム、シリコンゴム、他社製パーフロロエラストマーなどが、比較的耐熱温度が高く約200℃までの温度に用いられるが、200℃以上の温度に対してはカルレッツのみが使用可能の実績がある。
材質4079は、カルレッツの各種グレードの中で最も耐熱温度が高いタイプ。
材質1050LFは、放出ガスが最も少ないタイプ。
材質8475は、白色で熱線(赤外線)の吸収が少なく、シール特性、放出ガス特性を向上したタイプ。
材質8002は、充填剤の入っていないノンフィラータイプ。
材質8575は、耐プラズマ性も兼ね備えたタイプである。
尚、カルレッツとふっ素ゴム、他社製パーフロロエラストマーとの耐熱特性について比較したデータは次のとおりです。
図1 204℃でのエージング時間と圧縮永久歪みの関係 図2 200℃でのエージング時間と圧縮永久歪みの関係

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