※こちらの製品は現在生産中止品となっております。(2023年6月13日) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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PFA-HGチューブは、溶出ふっ素イオンの少ないNEW-PFA化された原料を用い、かつPFAの高次構造(球晶の微小化)をコントロールすることにより、チューブ内面の平滑化を可能にしたPFAチューブです。ウルトラクリーン化を要求される半導体・液晶産業分野での用途に最適です。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
■特長 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
従来のPFA チューブの性能に加え、以下の特長があります。 ■チューブ内表面は平滑(Rt=0.2μm)です。 ・パーティクルや薬液の滞留低減 ・クリーンアップ(洗浄時間)の低減 ・チューブ内の表面積減少による薬液浸透量の低減 ・透明性の向上 ・絶縁耐力の向上 ■NEW-PFA化された原料を使用しています。 ・溶出ふっ素イオンの低減
・応力環境下での耐ストレスクラック性向上 (ex.硫酸過水、発煙硫酸) |
※一般PFAチューブとPFA-HGチューブの透明性を比較した写真です。 (当社比) |
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特性 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
●金属イオン溶出結果
φ12)を1m長さに切断し、切り口を洗浄した後に 水洗を行う。 (2)試料に約70ml(長さ:900mm)のふっ化水素酸を 充し、室温で6日間の溶出試験を行う。 (3)溶出試験終了後、溶出液を蒸発乾固し、残渣に硝 酸を加えた後に純水で希釈を行い、フレームレス 原子吸光分析法にて溶出液中に含まれる元素の 絶対量を測定する。 ※上記数値は実測値であり規格値ではありません。 |
●PFAチューブ内表面粗度の比較
※Rt=Rmax ※A社品、B社品は一般PFAチューブです。 |
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●フッ素イオン溶出結果(ppm)
(1)チューブ(内径φ22.2×外径φ25.4)をベレット状にカッティングします。 (2)抽出液にサンプルを浸漬。室温で24時間放置後、F-イオン測定装置(オリオンリサーチ製 EXPANDABLE ION ANALYZER EA940)によりふっ素イオン濃度を測定します。(イオン抽出液:水+メタノール+TISAB (II)[1:1:2]、20ml) ※上記数値は実測値であり規格値ではありません。 |
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※納期(在庫の有無)についてはご確認ください。 |
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株式会社ハギテック : TEL 043-423-8741