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| CSタンク（スーパーPFAロトモールドタンク） | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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■ 特 長 ● 外溶接レスのロトモールド容器を使用し、高耐圧を実現した半導体/液晶製造用タンクです。 ● CSタンクとは、スーパーＰＦＡロトモールドタンクを内容器として、装備し、PVC/SUS外装材を圧力保護用として外部に組み込んだ半導体/液晶製造設備用タンクです。薬液の高純度化が進むつれて薬液の圧送方法はN2ガスによる圧送が主流になってきています。CSタンクはN2ガス圧送に対応する次世代の高純度薬液用タンクです。 ● 従来使用されていたシートライニングタンクは、ライニングが手作業になるため、耐久性の安定が困難でした。CSタンクは溶接レスのロトモールド成形容器を使用することにより、安定した耐久性を保持します。 |
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■CSタンクはノズルの仕様が2タイプあります。
ノズル 溶接行程レスにてJISフランジノズルを設置 ドレンノズル 本体とノズルの接合部に突起がなく、液切れ性の向上を実現（ノズル内面写真）   |
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| 缶体塗装 缶体表面は耐酸塗料を焼付塗装実施 SUS缶体 SUS胴体フランジレスを採用、重量50％減少を実現（シートライニング品比較） ■ 接液面 CSタンクは内容器にPFA容器を組み込んでいるため、接液面である内面の粗度が従来ロトモールドタンクと比較してあきらかに向上しています。下の写真は、レーザー式内面粗度計の測定値を画像処理したものです。
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| 図面は外観寸法図の一部です。6Lと8Lは少し変わった形状になっています。その他のものは2Lや7Lのような形状です。 詳細は別途お問い合せ下さい。 |
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| 備考欄※の製品には圧力容器の証明書が添付されます。 ● 外径寸法詳細につきまして、別途お問い合せ下さい。 |
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本製品は、全タイプ強度計算により仕様（設計圧力）を決定しています。 ご使用時は、設計圧力以下でご使用下さい。 本製品は常温（10〜50℃）にてご使用下さい。 本製品容量70L以上のタンクにはノズル部に継手陥没防止用リングを装着しております。 このリングはご使用時の微振動により緩むことがあります。定期的に緩みの有無を確認下さい。 緩みが確認された際は、定圧の状態までまし締めして下さい（ＴＹＰＥ1を選択の場合）。 本製品は負圧がかかる状況下では使用しないで下さい。 本製品継手部の取り扱いにつきましては、各継手メーカー取り扱い説明書をご参照下さい。 SUS缶体およびPVC缶体の表面は耐酸塗装もしくはフッ素コーティングしており、表面が大変傷つき易くなっております。製品を移動させる際は十分注意下さい。 |
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株式会社ハギテック : TEL 043-423-8741