ステンレスフレキシブルチューブ専用サイト 樹脂チューブ&継手専用サイト
P.907
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ハイバリアPFAチューブ 021・244
■特徴
●バリア性に優れるフッ素ポリマーチューブです。
●内層にはフッ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性フッ素ポリマー
 を使用し、精密多層成形技術により、信頼性の高い2層構造の
 チューブに仕上げました。

●接液部の内層は半導体用PFAを使用し、半導体配管用途での
 高い基本特性(純粋性、耐薬品性、非粘着性、耐熱性)を備えて
 います。

●バリア性フッ素ポリマーは酸(塩酸・硫酸など)・アンモニアの
 バリア性に優れ、半導体製造プロセスにおいて特に問題になり
 やすい塩酸ラインにおいて、従来のPFAチューブ配管に比べ酸の
 透過を抑え、周辺設備への悪影響を低減します。

●また長期に渡り、流体の透視性を維持できます。
●機械特性は従来のPFAチューブと同等です。
●原料投入から、成形・梱包まで、一貫して管理されたクリーン
 環境で製造しています。


・標準色:半透明


■構成
  
■寸法表(ミリサイズ)
コード 型式 内径 外径 最高使用圧力 最小曲げ半径 直管 タバ
mm mm MPa m m m
244-1039-01 TAH060 4 6 1.6 20 3 20
244-1039-02 TAH080 6 8 1.0 40 3 20
244-1039-03 TAH100 8 10 0.78 70 3 20
244-1039-04 TAH120 10 12 0.68 120 3 20
TAH250 TAH250 22 25 0.48 360 (※) (※)
(※)は受注生産品です。条長及びロット数量に関してはお問い合わせ下さい。

■寸法表(インチサイズ)
コード 型式 内径 外径 最高使用圧力 最小曲げ半径 直管 タバ
mm mm MPa m m m
244-1039-05 TAH1/4G 3.95 6.35 1.6 20 3 20
244-1039-06 TAH3/6G 6.33 9.53 1.4 35 3 20
244-1039-07 TAH1/2G 9.5 12.7 0.98 75 3 20
TAH3/4G TAH3/4G 15.8 19 0.68 180 3 20
TAH1G TAH1G 22.2 25.4 0.50 350 3 (※)
TAH1-1/4G TAH1-1/4G 28.0 31.8 0.45 500 (※) (※)
TAH1-1/2G TAH1-1/2G 33.7 38.1 0.45 600 (※) (※)
(※)は受注生産品です。条長及びロット数量に関してはお問い合わせ下さい。
 
■ハイバリアPFAチューブの特性
@塩酸の透過性試験と結果
図に示す促進試験でチューブから純水に透過する塩素イオン濃度を測定し、塩酸の透過性を評価しました。ハイバリアPFAチューブは、従来のPFAチューブに比べ、高いバリア性を発揮しています。
塩酸透過性促進試験で1年経過後もハイバリアPFAチューブは透視性を維持しています。

ハイバリアPFAチューブ
チューブを通して、文字が見えます。

PFAチューブ
チューブを通して、文字が見えません。

A機械特性
ハイバリアPFAチューブの機械特性は、従来のPFAチューブとほぼ同等です。
サイズ 10x8 破壊圧力(RT)/MPa 最小曲げ半径/mm 引き抜き強度
ハイバリアPFAチューブ 3.95 41 430
PFAチューブ 3.65 50 416

PFA継ぎ手の使用が可能です。
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