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P.1640

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PFA-SGチューブ
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PFA-SGチューブは、当社PFA-HGチューブの特長(溶出ふっ素イオンの少ないNEW PFA、内表面平滑)を備えつつ、さらに薬液・ガスの透過量を低減させたチューブです。
半導体・液晶製造工程において、透過・浸透性の高い薬液(塩酸、ふっ酸、硝酸、オゾン、アンモニア過水、アミン系薬液、ふっ素系界面活性剤など)や高温プロセスでの透過ガス低減による逆浸透や雰囲気中のケミカル汚染低減に効果が期待されます。
  
 特長
薬液の透過量が少ないです。(PFA-HGに対して、約60%(塩酸、窒素、酸素で測定)に低減。)
※PFA-HGチューブの透過量は、一般PFAチューブに対して、約50%に低減されています(HCL比)
ふっ素イオンの溶出が少ないです。(PFA-HGチューブと同等)
チューブ内表面が平滑です。(PFA-HGチューブと同等)
特性
 ●金属イオン溶出結果 (μg/cm2)
項目 PFA-SGチューブ  PFA-HGチューブ 
Na <,0.002 <0.002 
Mg <0.001 <0.001 
Al  <0.001  <0.001 
<0.001  0.001 
Ca  <0.001  <0.001 
Cr  0.005  0.020 
Mn  <0.001  <0.001 
Fe  <0.008  0.006 
Ni  0.020  0.028 
Cu  0.002  <0.001 
Zn  <0.001  <0.001 
Pb  <0.001  <0.001 
分析方法:
試料(φ4.35×φ6.35、接液面積:約100cm2)を2つに折り曲げて、内部に3.6%
塩酸を入れ、室温で20時間放置後、ICP-MS法にて試験液を測定します。
※上記数値は実測値であり規格値ではありません。

●PFAチューブ内表面粗度の比較 (mm)
 - PFA-SGチューブ   PFA-HGチューブ  
表面粗さ  0.2 0.2 
※上記数値は実測値であり規格値ではありません。
※Rtは最大粗さを示します。
●フッ素イオン溶出結果 (ppm)
- PFA-SGチューブ  PFA-HGチューブ
溶出結果  0.3 0.3 
 分析方法:
試料(φ22.2×φ25.4)をペレット状にカッティングします。抽出液にサンプルを浸漬。
室温で24時間放置後、F−イオン測定装置(オリオンリサーチ製EXPANDABLE ION
ANALYZER EA940)により、ふっ素イオン濃度を測定します。(イオン抽出液:水+メタ
ノール+TISAB(U)〔1:1:2〕、20m?)
※上記数値は実測値であり規格値ではありません。


●塩酸透過量測定結果
試験期間  PFA-SG
チューブ 
 PFA-HG
チューブ
透過量比 
7日 4.47 7.17  62% 
14日  8.86  13.8  64% 
30日  17.7  27.2  65% 
分析方法:
1tのシートを用いて、下図のような試験装置を組立て、真ん中の直管に35%塩酸を入れ、
両端の直管にクリーンエアーを封入し、ヒーターで70℃を保持する。
7、14、30日後にそれぞれ、封入したエアーを純水中に捕集し、CI濃度をイオンクロマト
グラフィにて測定して、累積塩化水素透過量を算出します。
※上記数値は実測値であり規格値ではありません。
※透過量比は、PFA-SGチューブ/PFA-HGチューブ透過量の比率を示します。


■注意事項
PFA-HGチューブよりも白みを帯びております。
PFA-HGチューブより硬いです。
 
  
ミリサイズ 呼び寸法(mm) 外径(mm) 肉厚(mm) 長さ(m)
型式 内径×外径 基準寸法 許容差 基準寸法 許容差 基準寸法 許容差
PFA-SG 2×4 2×4 4 ±0.10 1 ±0.06 10 1%0%     
PFA-SG 4×6 4×6 6 1
PFA-SG 6×8 6×8 8 ±0.12 1
PFA-SG 8×10 8×10 10 1
PFA-SG 10×12 10×12 12 1
PFA-SG 16×19 16×19 19 1.5 ±0.10
PFA-SG 22×25 22×25 25 ±0.15 1.5
   
  
インチサイズ 呼び寸法(mm) 外径(mm) 肉厚(mm) 長さ(m)
型式 内径×外径 基準寸法 許容差 基準寸法 許容差 基準寸法 許容差
PFA-SG 2.17×3.17 2.17×3.17 3.17 ±0.10 0.5 ±0.05 10 1%0%     
PFA-SG 4.35×6.35 4.35×6.35 6.35 1 ±0.06
PFA-SG 6.35×9.52 6.35×9.52 9.52 ±0.12 1.59 ±0.10
PFA-SG 7.52×9.52 7.52×9.52 9.52 1 ±0.06
PFA-SG 9.52×12.70 9.52×12.70 12.7 1.59 ±0.10
PFA-SG 15.88×19.05 15.88×19.05 19.05 1.59
PFA-SG 22.22×25.40 22.22×25.40 25.4 ±0.15 1.59
※その他の長さ(20m、50m、100m等)は都度お問い合わせ願います。
※納期(在庫の有無)についてはご確認ください。

■ お問合せ  お問合せはメール又はFAXにてお願い致します。


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