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P.464

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樹脂ジョイント・コネクタ・継ぎ手 製品
石英管用クオーツフィッティング 106
石英管用ピラフロンクオーツフィッティングは、従来から石英管継手の問題とされていたシール性、チューブ保持力、熱クリープ性を向上させた半導体プロセス機器継手です。
■特長
優れた安全性
PFAチューブはスーパーフィッティング(S型フィッティング)、石英管はストッパ採用により優れた保持力を有します。
優れた耐薬品性
全てPTFE、PFAを使用しているので優れた耐薬品性を有します。
クリーンな製品
半導体、液晶プロセス用として超ファイン化を考慮し、クリーンルームで一貫作業で製作、クリーンパック包装をしています。

※施工には別途工具が必要です。お問合せ下さい。
■仕様
最高使用温度:200゚C
最高使用圧力:0.4MPa(4kgf/cm2)
使用温度 ゚C 0〜60 61〜100 101〜200
使用圧力 MPa(kgf/cm2) 0.4(4) 0.2(2) 0.1(1)

Q-RU
コード 製品No.
Q-RU
石英管 PFAチューブ径 (P) L ナット
FQ
UNナット
対面幅
F
(A) W φE
O・D I・D O・D×I・D
03-193-01 8-S8A 8 4 8×6 64.4 27 17 19 51.1 17 6.5
03-193-02 10-S10A 10 6 10×8 73.2 33 22 22 58.4 19 8
03-193-03 12-S12A 12 8 12×10 82.8 39 27 27 64.9 24 10
03-193-04 16-S12A 16 12 12×10 90.0 45 32 27 69.0 28 10
03-193-05 20-S19B 20 16 19×15.8 100.4 48 38 38 78.4 34 16
03-193-06 25-S25A 25 20 25×22 125.3 66 50 50 97.3 44 24.6
※PFAチューブのインチサイズも製作致します。
印は受注生産品です。

Q-RUE
コード 製品No.
Q-RU
石英管 PFAチューブ径 (P) L ナット
FQ
UNナット
対面幅
F
L (M) (N) (A) W φE
O・D I・D O・D×I・D
03-194-01 8-S8A 8 4 8×6 52.0 27 17 19 43.5 30.9 39.4 30.2 17 6.5
03-194-02 10-S10A 10 6 10×8 58.5 33 22 22 49.0 35.7 44.7 34.2 19 8
03-194-03 12-S12A 12 8 12×10 69.8 39 27 27 57.8 42 54 39.9 24 10
03-194-04 16-S12A 16 12 12×10 77.0 45 32 27 65.0 44 58 44.0 28 10
03-194-05 20-S19A 20 16 19×15.8 87.9 48 38 38 70.9 55.4 71.4 48.9 34 16
03-194-06 25-S25A 25 20 25×22 114.3 66 50 50 92.3 67 89 64.3 44 24.6
※PFAチューブのインチサイズも製作致します。
印は受注生産品です。

■ お問合せ  お問合せはメール又はFAXにてお願い致します。


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