ステンレスフレキシブルチューブ専用サイト 樹脂チューブ&継手専用サイト

P.907

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ハイバリアPFAチューブ 021・244
■特徴
バリア性に優れるフッ素ポリマーチューブです。
内層にはフッ素ポリマーPFAを、外層にはバリア性フッ素ポリマーを使用し、精密多層成形技術により、信頼性の高い2層構造のチューブに仕上げました。
接液部の内層は半導体用PFAを使用し、半導体配管用途での高い基本特性(純粋性、耐薬品性、非粘着性、耐熱性)を備えています。
バリア性フッ素ポリマーは酸(塩酸・硫酸など)・アンモニアのバリア性に優れ、半導体製造プロセスにおいて特に問題になりやすい塩酸ラインにおいて、従来のPFAチューブ配管に比べ酸の透過を抑え、周辺設備への悪影響を低減します。
また長期に渡り、流体の透視性を維持できます。
機械特性は従来のPFAチューブと同等です。
原料投入から、成形・梱包まで、一貫して管理されたクリーン環境で製造しています。

・標準色:半透明
■構成 
  
■寸法表(ミリサイズ)
コード 型式 内径 外径 最高使用圧力  最小曲げ半径  直管 タバ
mm mm MPa m m m
244-1039-01 TAH060 4 6 1.6  20  3 20
244-1039-02 TAH080 6 8 1.0  40  3 20
244-1039-03 TAH100 8 10 0.78  70  3 20
244-1039-04 TAH120 10 12 0.68  120  3 20
TAH250 TAH250 22 25 0.48  360  (※) (※)
(※)は受注生産品です。条長及びロット数量に関してはお問い合わせ下さい。

■寸法表(インチサイズ)
コード 型式 内径 外径 最高使用圧力 最小曲げ半径 直管 タバ
mm mm MPa m m m
244-1039-05 TAH1/4G 3.95 6.35 1.6 20 3 20
244-1039-06 TAH3/6G 6.33 9.53 1.4 35 3 20
244-1039-07 TAH1/2G 9.5 12.7 0.98 75 3 20
TAH3/4G TAH3/4G 15.8 19 0.68 180 3 20
TAH1G TAH1G 22.2 25.4 0.50 350 3 (※)
TAH1-1/4G TAH1-1/4G 28.0 31.8 0.45 500 (※) (※)
TAH1-1/2G TAH1-1/2G 33.7 38.1 0.45 600 (※) (※)
(※)は受注生産品です。条長及びロット数量に関してはお問い合わせ下さい。
■ハイバリアPFAチューブの特性
@塩酸の透過性試験と結果
図に示す促進試験でチューブから純水に透過する塩素イオン濃度を測定し、塩酸の透過性を評価しました。ハイバリアPFAチューブは、従来のPFAチューブに比べ、高いバリア性を発揮しています。
塩酸透過性促進試験で1年経過後もハイバリアPFAチューブは透視性を維持しています。

ハイバリアPFAチューブ
チューブを通して、文字が見えます。

PFAチューブ
チューブを通して、文字が見えません。

A機械特性
ハイバリアPFAチューブの機械特性は、従来のPFAチューブとほぼ同等です。
サイズ 10x8 破壊圧力(RT)/MPa 最小曲げ半径/mm 引き抜き強度
ハイバリアPFAチューブ 3.95 41 430
PFAチューブ 3.65 50 416

PFA継ぎ手の使用が可能です。

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